南京大学刘辉教授课题组提出了一种采用锯齿状的金属光子晶体作为电极的单片集成薄膜铌酸锂(LiNbO3)马赫-曾德尔干涉仪(MZI)电光调制器，其结构如图所示，入射光通过Y结分为相同的两束进入到位于锯齿金属电极间隙中的LiNbO3波导，在外加微波场的作用下，通过发生线性电光效应使光波导模式的有效折射率发生改变，且由于在输出端的Y结处存在相位差，两束光发生相互干涉作用，从而实现对输出光信号振幅的调制。相关成果以“采用人工表面等离激元电极的慢光铌酸锂电光调制器”为题发表在《光学学报》2023,43(19):1923001上。

图 薄膜LiNbO3上采用人工表面等离激元金属电极的MZI电光调制器结构图